MP2-AS Serie
Asymmetrisch Bipolare Pulsgeneratoren von 35A - 400A Pulsstrom
(Höhere Leistung auf Anfrage)
Die Asymmetrisch bipolaren Pulsstromgeneratoren dienen zur Plasmaanregung auf höchstem Niveau. Mit den unterschiedlich einstellbaren Spanungsamplituden, getrtennt für den positiven un den negativen Puls, sowie der getrennt einstellbaren Strom- und Leistungsregelung, erreicht die asymmetrisch bipolare Pulsstromversorgung der Serie MP2-AS die höchst mögliche Flexibilität für den optimalen Einsatz der unterschiedlichsetn Beschichtungsverfahren.
Für den asymmetrisch bipolaren Pulsbetrieb werde zwei DC-Spannungsversorgungenen benötigt, die über die Pulseinheit angesteuert werden.
Mit der integrierten Umschalteinrichtung kann die Pulseiheit in den symmetrischen Pulsbetrieb geschaltet werden, so dass ein symmetrischer Pulsbetrieb auch mit nur einer DC-Spannungsversorgung nöglich ist.
Mit einem Leistungsbereich von 1kW bis zu 600KW und dem einstellbaren Frequenzbereich von DC bis zu 100kHz bieten diese Pulsstromgeneratoren ein flexibles Angebot für alle Sputteranwendungen sowie höchst anspruchsvolle Plasma-CVD- und PVD-Prozesse. Im Gegensatz zu vielen MF-Generatoren kommen die MAGPULS BP Generatoren ohne zusätzliche Anpassungsnetzwerke aus. Das hocheffiziente ARC-Management lässt sich für jeden Beschichtungsprozess optimal einstellen, wodurch Schichtdefekte an der zu behandelnden Werkstoffoberfläche wirksam vermieden werden.
Sämtliche Puls- und Leistungsparameterwerte lassen sich über das übersichtliche Grafik-Display einstellen und ablesen. Selbstverständlich können diese Pulsstromversorgungen über eine RS232-Rechnerschnittstelle oder optional über Profibus durch einen externen Rechner gesteuert werden.
Eigenschaften
Vorteile
- Hohe Schichtraten
- Reduzierte thermische Belastung
- Reduzierung der ARC-Entstehung
- Hohe Schichtqualität durch unterschiedliche Duty-Cycle oder Frequenzeinstellungen
- Beste Kontrolle unterscheidlicher Materialverbindungen durch flexible unterschiedlichen Pulszeiteinstellungen, sowie Pulsspannungsamplituden getrennt für den positiven und den negativen Pulsausgang beim Dual Magnetron Sputtern
- Hohe Prozessausbeute
8 einstellbare Pulsformen
Flexible ARC-Behhandlung
- Hohe Schichtraten
- Reduzierte thermische Belastung
- Reduzierung der ARC-Entstehung
- Hohe Schichtqualität durch unterschiedliche Duty-Cycle oder Frequenzeinstellungen
- Kontrollierte Materialverbindungen durch flexible unterschiedlichen Pulszeiteinstellungen für den positiven und den negativen Pulsausgängen beim Dual Magnetron Sputtern
- Hohe Prozessausbeute
Vorteile
- Kurze Prozesszeit
- Hohe Schichtqualität
- Hohe Prozessausbeute
- Niedrige Teilchen Kontamination
- Geringerer Targetverschleiß
Energieeinsparung
Bis zu 30% Energieeinsparung durch Energierückgewinnung in die Kondensatorbatterie während der Puls-Pausezeiten
Vortiele
- Niedrige Betriebskosten
- Ermöglicht eine Kleinere Dimensionierung der DC-Spannungsversorgung
Zubehör
- Tigger-Synchronisationsmodul zur Synchronisation von mehreren Pulsgeneratoren der Serie MP1 und MP2, sowie zum zeitversetzten Pulsen über das Trigger-Eingangssignal.
- Profibus-Schnittstelle mit 15-pol Sub-D-Buchse
- Profibus-Schnittstelle mit Lichtwellenleiter-Übertragung
- Pulsstrom-Messaugang zur Visualisierung über ein Oszilloskop
- Pulsspannung-Messaugang zur Visualisierung über ein Oszilloskop