Hochfrequenznetzteile für PECVD- und Sputter-Technik
- Kompakt und leichte Bauform
- Luftkühlung
- großer LCD-Bildschirm für höchsten Bedienkofort
- Modulares Design
- In den Leistungsbereichen von 300W bis 2000W verfügbar
- Separate automatische Matchbox
- Lokale oder Fernsteuerung.
- Sicherheitsverriegelung.
- Hohe Stabilität.
- Standard- RS-232 und RS-485-Schnittstelle
Highlights:
- Wissenschaft
- Industrie
- Medizin
Typische Anwendungen:
13,56 MHz-HF-Netzteile der Serie ZY
in den Leistungen von 300W bis 2000W

