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Plasmageneratoren 

 Effizienz in jedem Impuls

Pulsstromgeneratoren für Plasmatechnik spielen eine entscheidende Rolle in verschiedenen Anwendungen wie der Sputtertechnik, dem Plasma-unterstützten chemischen Dampfbeschichten (PECVD), der Plasma-Nitrierung und Bias-Anwendungen. Diese Generatoren erzeugen hochfrequente Pulsströme, die eine präzise Steuerung der Plasmaprozesse ermöglichen. 

das kompakte Energiepaket

Mit Leistungen von 0,5 kW bis 140 kW bieten die DC-Stromversorgungen flexible und leistungsfähige Lösungen für unterschiedlichste Beschichtungsprozesse. 

Das Spektrum reicht vom Laborgerät für Forschungseinrichtungen bis zum Power Supply für Großflächenbeschichtung. Diese Systeme sind besonders gut geeignet für den Einsatz in Kombination mit unseren Pulsstromgeneratoren.

Pure Lichtbogen-Kompetenz

Die ARC-Stromversorgungen sind entscheidend für die optimale Leistung von Verdampferquellen. Sie sorgt für eine konstante und homogene Verdampfung des Kathodenmaterials damit eine hohe und hochwertige Beschichtungsrate garaniert wird.

Smart High Voltage - die Zukunft der Glimmentladung

Ionenstromversorgung

Die Wisman DF-Serie ist ein leistungsstarkes, 19-Zoll-Rack-Netzteil mit Hochspannung. Die DF-Serie verfügt über ein umfassendes Schutzsystem und kann sowohl ferngesteuert als auch lokal bedient werden. Die Frontplatte bietet eine Spannungs- und Stromanzeige sowie Schutzfunktionen gegen Überspannung, Überstrom, Kurzschluss, Lichtbogenbildung und Überhitzung am Hochspannungsausgang. Zudem verfügt sie über eine Sicherheitsverriegelung. Umfangreiche Einstellmöglichkeiten und zahlreiche optionale Funktionen runden das Angebot ab. 

Präzision durch Hochfrequenz

13,56 MHz-HF-Generatoren

Die HF-Generatoren der Serie ZY  verfügen über eine seoarate automatische Matchbox, so dass stets eine optimale Leistugseinkopplung in das Plasmasystem gewährtleistet wird.

Die ZY-Serie wird in den folgendenLeistungsklassen angeboten:

  • 300W
  • 500W
  • 600W
  • 1000W
  • 1500W
  • 2000W

Anwednungsgebiete:

  • PEVCD Technik
  • Sputtertechnik
  • Medizintechnik

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